Örbyggingargreining og mat á hálfleiðaraefnum
Þjónustukynning
Með áframhaldandi þróun samþættra hringrása í stórum stíl er flísaframleiðsluferlið að verða flóknara og flóknara og óeðlileg örbygging og samsetning hálfleiðaraefna hindrar bætta flísafrakstur, sem veldur miklum áskorunum við innleiðingu nýrra hálfleiðara og samþættra efna. hringrásartækni.
GRGTEST veitir yfirgripsmikla greiningu og mat á örbyggingu hálfleiðara efnis til að hjálpa viðskiptavinum að bæta hálfleiðara og samþætta hringrásarferla, þar á meðal undirbúningur á flöskustigi og rafrænni greiningu, alhliða greiningu á eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum hálfleiðaraframleiðslu tengdra efna, mótun og framkvæmd mengunargreiningar á hálfleiðara efni. forrit.
Umfang þjónustu
Hálfleiðaraefni, lífræn smásameindaefni, fjölliðaefni, lífræn/ólífræn blendingsefni, ólífræn efni sem ekki eru úr málmi
Þjónustudagskrá
1. Undirbúningur og rafræn greining, byggt á einbeittri jóngeislatækni (DB-FIB), nákvæmri klippingu á staðbundnu svæði flísarinnar, og rafræn myndmyndun í rauntíma, getur fengið flíssniðið uppbyggingu, samsetningu og annað. mikilvægar ferliupplýsingar;
2. Alhliða greining á eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum framleiðsluefna hálfleiðara, þar með talið lífræn fjölliða efni, efni í litlum sameindum, greining á samsetningu ólífrænna efna sem ekki eru úr málmi, greiningu á sameindabyggingu osfrv.;
3. Mótun og framkvæmd mengunarefnagreiningaráætlunar fyrir hálfleiðaraefni.Það getur hjálpað viðskiptavinum að skilja að fullu eðlisfræðilega og efnafræðilega eiginleika mengunarefna, þar á meðal: efnasamsetningargreining, innihaldsgreiningu, sameindabyggingargreiningu og önnur eðlisfræðileg og efnafræðileg einkennisgreining.
Þjónustuvörur
| Þjónustagerð | Þjónustahlutir |
| Frumefnasamsetningargreining á hálfleiðaraefnum | l EDS frumefnagreining, l Röntgenljósrófsgreining (XPS) frumefnagreining |
| Sameindabyggingargreining hálfleiðaraefna | l FT-IR innrauð litrófsgreining, l X-ray diffraction (XRD) litrófsgreining, l Kjarnasegulómunarpoppgreining (H1NMR, C13NMR) |
| Örbyggingargreining á hálfleiðaraefnum | l Tvöfaldur fókus jóngeisla (DBFIB) sneiðgreining, l Field emission scanning rafeindasmásjá (FESEM) var notuð til að mæla og fylgjast með smásjá formgerð, l Atómkraftssmásjárskoðun (AFM) til að athuga formgerð yfirborðs |
