Örbyggingargreining og mat á hálfleiðaraefnum
Þjónustukynning
Með stöðugri þróun samþættra rafrása í stórum stíl er flísaframleiðsluferlið að verða flóknara og flóknara og óeðlileg örbygging og samsetning hálfleiðaraefna kemur í veg fyrir að flísafraksturinn sé betri, sem veldur miklum áskorunum við innleiðingu nýrrar hálfleiðara- og samþættra hringrásartækni.
GRGTEST veitir yfirgripsmikla greiningu og mat á örbyggingu hálfleiðara efnis til að hjálpa viðskiptavinum að bæta hálfleiðara og samþætta hringrásarferla, þar á meðal undirbúningur á oblátu sniði og rafrænni greiningu, alhliða greiningu á eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum hálfleiðaraframleiðslu tengdra efna, mótun og innleiðingu á aðgreiningaráætlun fyrir hálfleiðara efni.
Umfang þjónustu
Hálfleiðaraefni, lífræn smásameindaefni, fjölliðaefni, lífræn/ólífræn blendingsefni, ólífræn efni sem ekki eru úr málmi
Þjónustudagskrá
1. Undirbúningur og rafræn greining, byggt á einbeittri jóngeislatækni (DB-FIB), nákvæmri klippingu á staðbundnu svæði flísarinnar og rafræn myndmyndun í rauntíma, getur fengið flíssniðið uppbyggingu, samsetningu og aðrar mikilvægar ferliupplýsingar;
2. Alhliða greining á eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum framleiðsluefna hálfleiðara, þar með talið lífræn fjölliða efni, efni í litlum sameindum, greining á samsetningu ólífrænna efna sem ekki eru úr málmi, greiningu á sameindabyggingu osfrv.;
3. Mótun og framkvæmd mengunarefnagreiningaráætlunar fyrir hálfleiðaraefni. Það getur hjálpað viðskiptavinum að skilja að fullu eðlisfræðilega og efnafræðilega eiginleika mengunarefna, þar á meðal: efnasamsetningargreining, innihaldsgreiningu, sameindabyggingargreiningu og önnur eðlisfræðileg og efnafræðileg einkennisgreining.
Þjónustuvörur
| Þjónustagerð | Þjónustaatriði |
| Frumefnasamsetningargreining á hálfleiðaraefnum | l EDS frumefnagreining, l Röntgenljósrófsgreining (XPS) frumefnagreining |
| Sameindabyggingargreining hálfleiðaraefna | l FT-IR innrauð litrófsgreining, l X-ray diffraction (XRD) litrófsgreining, l Kjarnasegulómunarpoppgreining (H1NMR, C13NMR) |
| Örbyggingargreining á hálfleiðaraefnum | l Tvöfaldur fókus jóngeisla (DBFIB) sneiðgreining, l Field emission scanning rafeindasmásjá (FESEM) var notuð til að mæla og fylgjast með smásjá formgerð, l Atómkraftssmásjárskoðun (AFM) til að athuga formgerð yfirborðs |
-
Sími
-
Tölvupóstur
-
Efst